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坐标测量机的测量系统包括测头和标准器
坐标测量机的主体的运动部件包括沿x轴移动的主滑架、沿丁向移动的副滑架、沿z向移动的z轴,以及底座、测量工作台。测量机的工作台多为花岗岩制造,具有稳定、抗弯曲、抗振动、不易变形等优点。
坐标测量机的测量系统包括测头和标准器。三坐标测量机的测头用来实现对工件的测量,是直接影响测量机测量精度、操作的自动化程度和检测效率的重要部件。
坐标测量机的测头可分接触式和非接触式两类。数控机床厂在接触式测量头中又分机械式测头和电气式测头。此外,生产型测量机还可配有专用测头式切削工具,如专用铣削头和气动钻头等。
机械接触式测头为具有各种形状(如锥形、球形)的刚性测头、带千分表的测头以及划针式工具。机械接触式测头主要用于手动测量,由于手动测量的测量力不易控制,测量力的变化会降低瞄准精度,因此只适用于一般精度的测量。
电气接触式测头的触端与被测件接触后可作偏移,传感器输出模拟位移量信号。这种测头既可以用于瞄准(过零发信),也可以用于测微(测给定坐标值的偏差),因此电气接触式测头主要分为电触式开关测头和三向测微电感测头,其中电触式开关测头应用较广泛。
非接触式测头主要由光学系统构成,如投影屏式显微镜、电视扫描头,适用于软、薄、脆的工件测量。